1.必須檢查以確定每道工序所需的真空度。因為每一種工藝都有其合適的真空范圍,所以必須仔細(xì)研究和確定。
2.在確定工藝所需真空的基礎(chǔ)上,檢查低溫循環(huán)泵的極限真空度,因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的工作真空度。一般而言,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,并且比備用泵的極限真空度低50%。

4.檢查以確定達(dá)到所需循環(huán)的時間、管路的流動阻力和泄漏情況。考慮在達(dá)到要求后,在一定的工藝要求下保持循環(huán)泵所需的抽送速率。